I hela halvledarindustrins kedja är bearbetning och tillverkning en av de viktigaste länkarna. Med en så stor marknad utgör halvledarprocessutrustning tillverkningsbasen för halvledartillverkning i stor skala. Detta dokument kommer att fokusera på vad som är huvudutrustningen i halvledarproduktionsprocessen.
1, enda kristallugn
Utrustningsfunktion: smält halvledarmaterial, dra en kristall, för efterföljande tillverkning av halvledaranordningar, ge en kristall halvledarräkning.
Stora internationella varumärken: PVA TePla AG (Tyskland), Ferrotec (Japan), QUANTUM DESIGN (USA), Gero (Tyskland), KAYEX (USA).
Stora inhemska varumärken: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi 'an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi 'an Huade, The 48th Institute of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Epitaxialugn för gasfas
Utrustningsfunktion: att tillhandahålla specifik processmiljö för gasfas epitaxial tillväxt, att realisera tillväxten av tunna skiktkristaller med motsvarande förhållande till en kristall kristallfas på den enda kristallen, och att göra grundläggande förberedelse för funktionella genomförande av enstaka kristall sjunkande. Gasfas epitaxy är en speciell process av kemisk ångdeposition, där kristallstrukturen i tillväxttunna skiktet är en fortsättning på det enda kristallsubstratet och motsvarar substratens kristallorientering.
Stora internationella varumärken: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
Stora inhemska varumärken: China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co,, LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Epitaxysystem för molekylär strålning
Utrustningsfunktioner: Epitaxysystem för molekylstråle, vilket ger processutrustningen för att växa filmen på bottenytan enligt specifikationerna. Molekylärstråle epitaxy (MBEA) är en teknik för att förbereda en kristalltunna filmer. Det används för att odla tunna filmer lager för lager längs substratens kristallaxel under lämpliga substrat och lämpliga förhållanden.
Stora internationella varumärken: Riber (Frankrike), Veeco (USA), DCA Instruments (Finland), SVTAssociates (USA), NBM (USA), Omicron (Tyskland), MBE-Komponenten (Tyskland), Oxford Applied (UK) Research (OAR) företag.
Stora inhemska varumärken: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co,, LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co,, LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co,, LTD.
4. Oxidationsugn (VDF)
Utrustningsfunktion: För halvledarmaterial oxidationsbehandling, ge den önskade oxidationsatmosfären, för att uppnå den förväntade utformningen av halvledaroxideringsprocessen, är en oumbärlig länk i halvledarbearbetningsprocessen.
Stora internationella varumärken: Brittiska Thermco Company, Tyskland Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG företag.
Stora inhemska varumärken: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute.
5. Lågtrycks kemisk ångdepositionssystem (LPCVD)
Utrustningsfunktion: Ångan som innehåller det gasformiga eller flytande reaktionsmedlet och som utgör de delar av filmen och andra gaser som krävs för reaktionen förs in i reaktionskammaren i LPCVD-utrustningen, och filmen genereras av kemisk reaktion på substratytan.
Stora internationella varumärken: Hitachi International Electric Company,
Stora inhemska varumärken: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co,, LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory.
6. Plasmaförbättrad kemisk ångdepositionssystem (PECVD)
Utrustningsfunktion: Använd glödurladdning i depositionskammaren, gör det jonisera och utför kemisk reaktion på substratet för att deponera halvledartunnfilmmaterial.
Stora internationella varumärken: Proto Flex (USA), Tokki (Japan), Shimadsu (Japan), Lam Research (USA), ASM International (Nederländerna).
Stora inhemska varumärken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument factory, Shanghai Machinery Factory.
7. Magnetron Sputtering Table (MSA)
Utrustningsfunktioner: Genom ett slutet magnetfält parallellt med målytan i den bipolära sputtret och det orthogonala elektromagnetiska fält som bildas på målytan är den sekundära elektronen bunden till målytans specifika område, för att uppnå hög jontäthet och hög energijonisering, och målatomer eller molekyler deponeras på substratet med hög hastighet som sputtrar för att bilda en film.
Stora internationella varumärken: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit company, Balzers company och Cemecon company.
Stora inhemska varumärken: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co,, LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Shanghai Machinery Factory.
8. Kemisk mekanisk poleringsmaskin (CMP)
Utrustningsfunktion: genom mekanisk slipning och kemisk vätskeupplösning "korrosion" av den kombinerade effekten, som ska lappas (halvledare) polering.
Stora internationella varumärken: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Stora inhemska varumärken: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co,, LTD., Alite Microelectronics.
9, litografi maskin
Enhetens funktion: limma jämnt på ytan av halvledarsubstrat (kiselskiva), överför mönstret på masken till fotoresist och "kopierar" tillfälligt enheten eller kretsstrukturen till kiselskivan.
Stora internationella varumärken: ASML (Nederländerna), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Stora inhemska varumärken: China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktivt jonetsningssystem (RIE)
Utrustningsfunktioner: Högfrekvent spänning appliceras mellan plattelektroderna för att producera jonskikt hundratals mikron tjocka, och jonens höghastighetsslagsmönster sätts in i mönstret, för att uppnå kemisk reaktionsetsning och fysisk påverkan och för att uppnå halvledarbearbetning och gjutning.
Stora internationella varumärken: Japan Evatech Company, det amerikanska NANOMASTER-företaget, Singapore REC Company, Sydkorea JuSung-företaget, Sydkorea TES Company.
Stora inhemska varumärken: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co,, LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co,, LTD., China Electronics Technology Group fyrtiotton institut.
11. ICP plasma etsningssystem
Utrustningsfunktioner: en eller flera gasatomer eller gasmolekyler som blandas i reaktionskammaren, under yttre energis verkan (t.ex. radiofrekvens, mikrovågsugn osv.) för att bilda en plasma, å ena sidan den aktiva gruppen i plasman och det ytmaterial som ska etsas kemisk reaktion och generera flyktiga produkter. Å andra sidan styrs jonerna i plasman och accelereras under verkan av biastryck för att realisera riktningskorrosion och accelererad korrosion av den etsade ytan.
Stora internationella varumärken: Oxford Instruments (Storbritannien), Torr (USA), Gatan (USA), Quorum (Storbritannien), Leeman (USA), Pelco (USA).
Stora inhemska varumärken: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co,, Ltd., China Electronic Technology Group 48th Institute, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, North Microelectronics, Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, våt etsnings- och rengöringsmaskin
Utrustningsfunktion: Våt etsning är etsningsmaterialet som blötläggs i etsningslösning för korrosionsteknik. Rengöring är att minska föroreningen, vilket kan påverka enhetens prestanda, leda till tillförlitlighetsproblem och minska utbytet, vilket kräver noggrann rengöring före varje lager av nästa process eller före nästa lager.
Stora internationella varumärken: Screen (Japan), SEMES(Korea), Tokyo Electron (Japan), Lam Research (Amerika).
Stora inhemska varumärken: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co,, LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co,, LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Jonimplantationsmaskin (IBI)
Utrustningsfunktion: dopa området nära halvledarytan.
Stora internationella varumärken: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. och Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (förvärvas av AMAT).
Stora inhemska varumärken: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co,, LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co,, LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, provbänk för sond
Enhetens funktion: Genom sondkontakten med halvledarenhetens dyna utförs elektrisk provning för att kontrollera om halvledarens prestandaindex uppfyller konstruktionsprestandakraven.
Stora internationella varumärken: Tyskland Ingun företag, QA företag, MicroXact företag, Ecopia företag, Leeno företag.
Stora inhemska varumärken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Wafer gallringsmaskin
Funktion: minska tjockleken på skivan genom polering.
Internationella huvudvarumärken: Japan DISCO Company, Tyskland G&N företag, Japan OKAMOTO företag, Israel Camtek företag.
Stora inhemska märken: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co, LTD., Shenzhen Fonda Sliputrustning Manufacturing Co,, LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co,, LTD., Weianda Sliputrustning Co,, LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Wafer Scribing Machine (DS)
Enhetens funktion: Skivan, skuren i små bitar av Die.
Stora internationella varumärken: Tyskland OEG företag, Japan DISCO Company.
Stora inhemska märken: Kina elektronik teknik grupp, Peking kechuang genom att påbörja källa fotoelektrisk teknik co., LTD., shenyang institut för instrumentering teknik, den nordvästra maskinen co., LTD., (709 fabrik) har nordvästra maskinfabriken, hui sheng elektroniska elektroniska maskiner och utrustning företag, lanzhou: laser, en högteknologisk industri co., LTD., shenzhen ruby laser utrustning co., LTD., Wu Hansan arbetare, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Teknologi.
17. Tråd bonder
Enhetens funktion: Anslut dynan på halvledarchipet med dynan på stiftet med den ledande metalltråden (guldtråden).
Stora internationella varumärken: American Ottey, Tyska TPT, Austria FK, Malaysia UNISEM.
Stora inhemska varumärken: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co,, LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malaysia Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.