Som kärnutrustning i den integrerade kretsindustrin kallar vissa människor litografimaskinen" den mest sofistikerade och komplicerade maskinen för mänskligheten" ;. Som den viktigaste utrustningen vid chiptillverkning är litografimaskinen också känd som" exponeringsmaskin" som kärnutrustning för chiptillverkning. ett. Litografimaskinen är en anordning som använder en ultraviolett excimerlaser för våglängd för att avlägsna skyddsfilmen på skivytan genom en mall och sedan suga skivan i ett frätande medel. Den del som tappar skyddsfilmen etsas bort för att bilda en krets.
Den vanliga litografimaskinen är maskjusteringslitografi, och den allmänna litografiprocessen involverar rengöring och torkning av ytan på kiselskivan, bottenbeläggning, centrifugeringsfotoresist, mjuk bakning, justeringsexponering, efterbakning, utveckling, hård bakning, etsning och andra processer. Kvaliteten på litografimaskinen avgör direkt vilken nivå av processchips som kan tillverkas, vilket visar dess betydelse.
Och i år förbereder sig både Apple, Samsung och Huawei för att utveckla nya 5nm mobiltelefonchips. Oavsett om det är Apple' s A14, Qualcomm' s Snapdragon 888-chip eller Samsung Exynos 1080, Kirin 9000, etc., representerar alla branschens' s högsta nivå på 5 nm chips. Inom området 5G och mobil kan man se att olika tillverkare håller på att växa. 5nm-chips tycks nå sina gränser, men i framtiden kommer marker att fortsätta att förbättras och uppgraderas, och ännu större tekniska genombrott är fortfarande okända och litografimaskinen måste spela en roll. Oumbärlig och viktig roll.
Som en av de mest komplexa precisionsutrustningarna i världen finns det faktiskt, förutom produktionen av chips, också litografi för förpackning eller projektionslitografi för LED-tillverkning. För närvarande importeras mitt lands' s avancerade litografimaskiner i grund och botten från Nederländerna ASML. I själva verket, oavsett tillverkning eller design av avancerade marker, har den enda stopptjänsten för chipdesign och tillverkning monopoliserats av västländer. Dessa industrier i mitt land kontrolleras för närvarande av andra.
Globalt mönster för litografimaskin
För närvarande är de viktigaste tillverkarna av globala litografimaskiner: ASML, Nikon, Canon, Otech, Shanghai mikroelektronikutrustning, SUSS, ABM, Inc. Högpresterande litografimaskiner kan delas in i två typer: stegprojektion och skanningsprojektionslitografi maskiner. Upplösningen är vanligtvis mellan sju nanometer och flera mikrometer. Avancerade litografimaskiner är kända som de mest exakta instrumenten i världen. Det finns 1,2 litografimaskiner värda en miljard dollar.
Den avancerade litografimaskinen kan kallas blomman för den moderna optiska industrin, och dess tillverkning är så svår att endast ett fåtal företag i världen kan tillverka den. Dessa är främst de tre stora varumärkena för utländska varumärken: ASML från Nederländerna, Nikon från Japan och Canon från Japan.
Innan detta sa ASML: s president, den ledande globala tillverkaren av litografimaskiner, att även om ritningarna publicerades skulle vi aldrig kunna imitera topplitografimaskiner.
Faktum är att ASML har en marknadsandel på 90% i världens' s liknande produkter och nästan 100% marknadsandel under noden 10 nm, vilket nästan monopoliserar den globala avancerade chiptillverkningskärnan. Och deras företag' s vinster har nått 2-3 miljarder euro under de senaste åren. Andra konkurrenter i samma bransch har i princip inte kunnat komma ikapp, och även USA är utom räckhåll.
Med de sanktioner och försäljningsförbud som införts av USA är den enda vägen ut för mitt lands' s litografimaskin oberoende forskning och utveckling. Även om ASML kan behålla sin ledande position inom teknik och marknad med framtida teknisk utveckling, tekniska innovationer och genombrott kommer dessa luckor att minskas snabbare.
För närvarande begränsas de inhemska avancerade leverantörskedjorna för chip kraftigt av utlandet. Hur man kommer igenom avancerade chip R& D och tillverkning genom oberoende forskning och utveckling är för närvarande det största problemet.